酸化物ターゲット

汎用材料から自社開発の材料まで幅広く取りそろえております。

使用目的に合わせて幅広い分野で利用可能です。

山形県の東ソー・スペシャリティマテリアル株式会社にて生産しています。

日本、韓国、中国、台湾、シンガポール、アメリカ、ヨーロッパに販売拠点を設け、各市場のニーズに応えることのできる販売体制を整えています。

品質、コスト、安定供給、独自性の高い材料によりエレクトロニクス社会を支えています。

高屈折膜として使用されているTiO₂膜やNb₂Ox膜を形成する際、成膜速度の遅さが課題となっています。
当社独自の材料配合により高速成膜可能な材料を開発しました。
光学膜の他にバリア用途、絶縁膜用途でも期待されます。

グループ会社（東ソー・クオーツ株式会社）にてターゲット材を製造しています。材料中の異物、泡が少なく低アーキングな成膜を実現します。
長尺品を1枚物で提供可能です。