円筒ターゲット
特徴
全面がスパッタされるため平板型に比べ、使用効率・生産性の向上が期待できます。当社の高い成形・焼結・加工技術を応用して、高密度で割れにくい円筒ターゲットを供給しています。
用途
従来の平板型スパッタリングターゲットと同様に、液晶パネル・太陽電池パネル等の生産に用いられます。
生産体制
山形県の東ソー・スペシャリティマテリアル株式会社にて生産しています。
グローバル体制
日本、韓国、中国、台湾、シンガポール、アメリカ、ヨーロッパに販売拠点を設け、各市場のニーズに応えることのできる販売体制を整えています。
社会貢献
品質、コスト、安定供給によりエレクトロニクス社会を支えています。
グレード一覧
| 材料 | 製法 |
|---|---|
| ITO | ボンディング |
| Si | ボンディング |
| 溶射 | |
| Nb2Ox | 溶射 |
| Nb | コールドスプレー |
| ボンディング | |
| 一体型 | |
| Cr | ボンディング |
| Al | 一体型 |
| Ti | 一体型 |
| Mo | 一体型 |
| Cu | 一体型 |
| Ni | 一体型 |
| 合金 | 応相談 |
FAQ
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可能な場合もございます。お気軽にお問い合わせください。
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