Tiターゲット

特徴

常温では灰色無臭の固体。
形状は平板型。
スパッタ法による薄膜成膜装置に使われます。

用途

主に半導体の製造(バリア層・ハードマスクなど)に使われています。

化学式

Ti

生産体制

アメリカ合衆国のTosoh SMD Incにて生産しています。

グローバル体制

日本、韓国、中国、台湾、シンガポール、アメリカ、ヨーロッパに販売拠点を設け、各市場のニーズに応えることのできる販売体制を整えています。

Tiターゲットのしくみ

Tiターゲットは溶解にて製造された製品です。

社会貢献

当社ではリサイクル体制を整え、資源の有効活用を図っています。

受賞歴

2014年 Intel Corporation’s Preferred Quality Supplier (PQS) award

製品ラインナップ

  • Ti (4N~5N)
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お問い合わせフォーム

東ソー株式会社

高機能材料事業部 電子材料部薄膜BU

  • TEL:03-5427-5171
  • FAX:03-5427-5200

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