石英ガラス

石英ガラス

特徴

素材から加工品まで一貫した生産体制を築いており、幅広い品揃えと共に長年培ってきた技術により、多様なニーズに対応が可能です。

用途

半導体製造用炉芯管、ボート等、半導体製造装置部品、光ファイバー製造関連部品、半導体製造用マスク、フラットパネル製造用マスク、紫外・赤外線用レンズ・ウィンドー、高輝度ランプ管などの素材に用いられています。

生産体制

石英ガラス素材は全て東ソー・エスジーエム株式会社で行っています。また、石英ガラスの加工品は東ソー・クォーツで製造、販売を行っております。

東ソーの石英ガラス

石英ガラスは、1.純度が高い、2.耐熱性に優れる、3.光透過性に優れる、という特徴があり、半導体製造、フラットパネル製造、光学、エネルギー、通信など様々な分野で使用されています。
東ソー石英ガラスは、大きく分けて溶融石英ガラスと合成石英ガラスとがあり、そのそれぞれが使用目的に応じてさらに細かなグレードに細分化されております。

受賞履歴

プリファード・クオリティー・サプライヤー賞
(TOSOH QUARTZ(米)がIntel Corporationから受賞)

製品ラインナップ

  • 溶融石英ガラス:N、NP、OP-1、OP-3、HR、HRP
  • 超高純度溶融石英ガラス:S
  • 合成石英ガラス:ES、ESL-1、ESL-1000、ESL-2、ESL-2000、ED-C、ED-H

製品に関するお問い合わせ

お電話でのお問い合わせ

03-6636-3731

高機能材料事業部
電子材料部 石英BU