円筒ターゲット

特徴

形状は円筒型。
スパッタ法による薄膜成膜装置に使われます。
全面がスパッタされるため平板型に比べ、使用効率・生産性の向上が期待できます。

当社の高い成形・焼結・加工技術を応用して、高密度で割れにくい円筒ターゲットを供給しています。

用途

従来の平板型スパッタリングターゲットと同様に、液晶パネル・太陽電池パネル等の生産に用いられます。

化学式

In2O3/SnO2
ZnO、Cr、Ti、ZnO/Al2O3、Si 他

生産体制

山形県の東ソー・スペシャリティマテリアル株式会社にて生産しています。

グローバル体制

日本、韓国、中国、台湾、シンガポール、アメリカ、ヨーロッパに販売拠点を設け、各市場のニーズに応えることのできる販売体制を整えています。

円筒ターゲットのしくみ

円筒ターゲットは焼結または真空溶解にて製造された製品です。

円筒ターゲットの秘密

円筒ターゲットを用いることで、生産の効率化が可能となります。

社会貢献

当社ではリサイクル体制を整え、資源の有効活用を図っています。

製品ラインナップ

  • In2O3/SnO2(ITO)
  • ZnO
  • Cr
  • Ti
  • ZnO/Al2O3(AZO)
  • Si
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Webでのお問い合わせ

お問い合わせフォーム

東ソー株式会社

高機能材料事業部 電子材料部薄膜BU

  • TEL:03-5427-5171
  • FAX:03-5427-5200

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