Alターゲット

特徴

常温では銀色無臭の固体。
形状は平板型。
スパッタ法による薄膜成膜装置に使われます。

用途

主に半導体の配線に使われています。

化学式

Al、Al-Si、Al-Cu、Al-Si-Cu

生産体制

アメリカ合衆国のTosoh SMD Incにて生産しています。

グローバル体制

日本、韓国、中国、台湾、シンガポール、アメリカ、ヨーロッパに販売拠点を設け、各市場のニーズに応えることのできる販売体制を整えています。

Alターゲットのしくみ

Alターゲットは溶解にて製造された製品です。

Alターゲットの秘密

高純度Alターゲット単体として使用するほかに、Alに微量のSi、Cuを加えたターゲットを使用することで半導体の信頼性を高めることができます。

社会貢献

当社ではリサイクル体制を整え、資源の有効活用を図っています。

受賞歴

2014年 Intel Corporation’s Preferred Quality Supplier (PQS) award

製品ラインナップ

  • Al (5N)
  • Al-Si
  • Al-Si-Cu
  • Al-Cu
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Webでのお問い合わせ

お問い合わせフォーム

東ソー株式会社

高機能材料事業部 電子材料部薄膜材料グループ

  • TEL:03-5427-5171
  • FAX:03-5427-5200

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