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溶融石英ガラス Nグレード 用途 特長 半導体用 理化学用 水天然に産出される水晶を酸水素炎で溶融した石英ガラスです。純度が高く、気泡が少ないことを特徴としてします。半導体製造用治工具、理化学用機器類の材料として最適です。 ＮＰグレード 用途 特長 半導体用 理化学用 NPグレードは、Ｎグレードに使用している原料粉を自社にて精製し、酸水素炎で溶融した、高純度グレードです。 Ｓグレード 用途 特長 半導体用 理化学用 原料に超高純度粉を使用し、酸水素炎で溶融した超高純度溶融石英ガラスです。泡・異物が少なく合成石英ガラス並の純度を有していることが特徴です。金属不純物含有量が極めて少ないため、特に紫外線の透過性に優れ、真空紫外域まで良好な透過性を示します。このため、各種高純度材料、窓材料、紫外・真空紫外光学材料として最適です。 ＯＰ−１グレード 用途 特長 半導体用 石英ガラスに細かな泡を多数内包させた不透明石英ガラスです。高純度で、遮光、遮熱性に優れていることを特徴としています。紫外域から赤外域までの広範囲の光を通しません。半導体製造や各種燃焼炉等高温プロセスにおける断熱材料として、あらゆる光の遮光材料として最適です。 ＯＰ−３グレード 用途 特長 半導体用 OP-3グレードは、使用する原料粉の純度を高めて製造した高純度グレードです。 ＨＲグレード 用途 特長 半導体用 天然に産出される水晶を電気溶融した石英ガラスです。高温粘性を下げる作用のあるOH基をほとんど含まない、耐熱特性の特に優れた石英ガラスです。半導体製造用治工具、理化学用機器類の材料として最適です。 ＨＲＰグレード 用途 特長 半導体用 半導体用 HRPグレードは、HRの高純度グレードです。 合成石英ガラス ＥＳグレード 用途 特長 半導体用 光学用 理化学用 四塩化ケイ素を直接法（ベルヌーイ法）にて加水分解して得られる石英ガラスです。純度が非常に高く、紫外線透過率やレーザー耐性に優れた石英ガラスです。半導体製造用マスク材料、液晶パネル製造用マスク材料、半導体製造用露光機の光学材料などに用いられており、紫外線用のレンズ、プリズム、ウィンドー等の光学材料や微量のコンタミを嫌う各種治工具、機器類の材料として最適です。 用途に応じて、以下のグレードがあります。 ES 汎用合成石英ガラス ESL-1 1方向脈理フリー光学用合成石英ガラス ESL-1000 1方向脈理フリーで、レーザー耐性を持たせた光学用合成石英ガラス ESL-2 3方向脈理フリー光学用合成石英ガラス ESL-2000 3方向脈理フリーで、レーザー耐性を持たせた光学用合成石英ガラス 各グレードの光学特性をまとめると以下の表のようになります。 表1．ESグレードの光学特性 (1) 脈理仕様は次の様に定義する。 １Ｄ：一方向脈理なし　　　　３Ｄ：三方向脈理なし (2) 屈折率の均質性を意味し、有効エリアに対するΔｎ(ＰＶ)値で表す。保証はオプション。 (3) 本蛍光とは、励起波長２５４nm（低圧水銀ランプ光源）にて目視で確認されるものを意味する。 励起波長の異なる場合、別途打ち合わせとする。 (4) 東ソー・エスジーエム（株）の定めるKrF及びArFエキシマレーザー耐性試験条件をベースに応談後、仕様を決定する。 (5) 本適応波長とは、外部透過率が８０%/cm以上である波長範囲を意味する。特定波長（領域）における透過率仕様については、別途打ち合わせとする。 (6) 本泡・異物レベルは、DIN 58927に準ずる。 ＥＤグレード 用途 特長 半導体 光学用 四塩化ケイ素をスート法（VAD法）にて加水分解して得られる石英ガラスです。純度の高い合成石英ガラスの中でもトップクラスの純度を有し、かつ、直接法合成石英ガラスに比べOH基含有量が低く、赤外透過性、真空紫外透過性、耐熱性に優れた合成石英ガラスです。 用途に応じて、以下のグレードがあります。 ED-A OH基200ppm未満、3方向脈理フリーの超高純度合成石英ガラスです。 ED-B OH基濃度を10ppm未満に抑え、耐熱性を溶融石英並に高めた、高耐熱超高純度合成石英ガラスです。特に高温で使用される拡散炉やアニールウェーハ処理用プロセスチューブなどの、部材からのコンタミを嫌う用途に最適です。また、OH基をほとんど含まぬため、赤外域で使用される光学部品の材料としても使用できます。 ED-C OH基濃度を1ppm未満にまで低減させた、完全無水超高純度合成石英ガラスです。金属不純物、および、OH基による吸収を極度に嫌う高精度赤外光学材料として最適です。 ED-H OH基濃度100ppm未満、3方向脈理フリーの超高純度合成石英ガラスです。ガラス内部に存在する構造欠陥が少ないため、真空紫外域(波長200nm以下)の光透過性に優れています。また、均質性に優れるため、高精度光学部品の材料として最適です。 各グレードの光学特性をまとめると以下の表のようになります。 表２．EDグレードの光学特性 (1) 脈理仕様は以下の様に定義する。 １Ｄ：一方向脈理なし　　　　３Ｄ：三方向脈理なし　　　　−：保証無し (2) 屈折率の均質性を意味し、有効エリアに対するΔｎ(ＰＶ)値で表す。 (3) 本蛍光とは、励起波長２５４nm（低圧水銀ランプ光源）にて目視で確認されるものを意味する。 励起波長の異なる場合、別途打ち合わせとする。 (4) 東ソー・エスジーエム（株）の定めるKrF及びArFエキシマレーザー耐性試験条件をベースに応談後、仕様を決定する。 (5) 本適応波長とは、外部透過率が８０%/cm以上である波長範囲を意味する。特定波長（領域）における透過率仕様については、別途打ち合わせとする。 (6) 本泡・異物レベルは、DIN 58927に準ずる。 石英ガラスウール 石英ガラスウールは、透明石英ガラスの微細な繊維からなり、他のウールに比べて繊維の太さが均一で、極めて純度が高く、耐薬品性、耐熱性に優れています。 石英ガラスウールは、非常に細かな繊維から成っており、高温で長時間にわたり荷重をかけると熱収縮を起こします。収縮率は以下の通りですが、常用温度としては、1100℃以下を推奨します。 条 件 1000℃×1h 1200℃×1h 1300℃×1h 収縮率 0% 10% 30% 石英ウールは、標準品として、次のグレードがあります。 ファイン 線径2〜6μm(中心径4μm)、ガスクロ用充填材、フィルター用途等に最適です。 コース 線径4〜9μm(中心径6μm)、断熱材、ダストチューブ用途等に最適です。 主な取扱製品 ・インゴット（角・丸） ・板材 ・リング材 ・レンズ用素材 ・プリズム用素材 ・パイプ ・ムク棒 ・石英ウール 技術資料 石英ガラスの種類 溶融石英ガラスの機械・熱・電気的性質 合成石英ガラスの機械・熱・電気的性質 石英ガラスの純度 石英ガラスの光透過性(可視〜赤外) 石英ガラスの光透過性(紫外〜可視) 石英ガラスの光透過性(真空紫外〜紫外) 溶融石英ガラスの屈折率 合成石英ガラスの屈折率 石英ガラスの高温粘性 ES材の蛍光特性 ES材のエキシマレーザー耐性 石英ガラスの反応性(酸・アルカリ) 石英ガラスの反応性(金属・その他) 標準管サイズ表(1) 標準管サイズ表(2) 標準棒サイズ表 石英ガラス使用上の注意